作者:大連耐酸泵 瀏覽量:1508次 日期:2018-10-17
大連耐酸泵-吸氣離子泵的分類
通過電磁場或電場的作用,吸氣離子泵被電離的氣體會吸附在有吸氣材料的泵內表面上,真空就會由此形成了,吸氣離子泵分為濺射離子泵和蒸發(fā)離子泵這兩種,下面就問大家具體的介紹一些吸氣離子泵的這兩種類型。
濺射離子泵使用起來比較簡單、而且維護起來也比較的簡單,且費用較低,此外,濺射離子泵還具有可靠、無熱、無噪聲、無水、耗電少等優(yōu)點;但是,其對惰性氣體和大分子量的有機蒸汽抽速較低,對污染很敏感;此外,濺射離子泵設有磁鐵,所以其重量和體積都比較大,從而就造成了單位抽速成本高的弊端。
蒸發(fā)離子泵的泵內被電離的氣體傳輸到以間斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而復在泵內壁的吸氣材料上而被吸附,對于氫、氮、氬和氦,蒸發(fā)離子泵都會出現不同的抽速。
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